巨化股份11月18日晚公告,公司擬設立全資子公司并由其投資1.5億元實施高純電子氣體項目(一期),以加快電子化學品業(yè)務培育,促進轉型升級,優(yōu)化產(chǎn)業(yè)規(guī)劃。
該項目擬新建1000t/a醫(yī)藥級氯化氫、1000t/a高純氯化氫、500t/a高純氯氣等系列產(chǎn)品的生產(chǎn)裝置及相關配套設施。其中,高純氯化氫主要用于半導體芯片生產(chǎn)過程中的清洗和外延生長工藝;高純氯氣主要用于液晶平板顯示器、光纖和半導體行業(yè),被用作蝕刻氣體和脫水劑;醫(yī)藥級氯化氫產(chǎn)品主要用于醫(yī)藥合成原料。
據(jù)測算,項目達產(chǎn)后,預計年均利潤總額5200萬元,所得稅前財務內部收益率約為24%,所得稅后財務內部收益率約為20%。根據(jù)公告,項目生產(chǎn)裝置計劃2015年4月開工建設,2015年12月具備試車條件。
業(yè)內人士介紹,電子氣體是特種氣體的一個重要分支。隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,電子氣體市場需求量明顯增長,廣泛應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。例如在目前工藝技術較為先進的超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中,全部工藝步驟超過450道,其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。(http://www.ymcpw.cn/)